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塵埃粒子計數(shù)器都是怎么進行校準的
發(fā)布時間:
2022-12-27 14:34
通常,塵埃粒子計數(shù)器廠家根據(jù)儀器的規(guī)格和成本來選擇在潔凈室中使用的塵埃粒子計數(shù)器。
以下是應(yīng)該考慮的問題及因素:
1.這個粒子計數(shù)器是否會被用于認證潔凈室和從測試完一個位置以后然后到另一個位置?
2.預(yù)計收集什么類型的數(shù)據(jù)?將這些信息記錄為簡單的合格/不合格?還是將信息記錄到電子表格或數(shù)據(jù)庫中?
3.塵埃粒子計數(shù)器是否會被用來進行連續(xù)的動態(tài)的潔凈室粒子監(jiān)測?粒子計數(shù)器是否打算與環(huán)境監(jiān)控系統(tǒng)連接?
4.粒子計數(shù)器將用于什么類型的環(huán)境?是將其用于ISO3級潔凈室進行常規(guī)顆粒計數(shù),還是將其用于驗證流動的關(guān)鍵工藝過程?
5.操作人員是否將塵埃粒子計數(shù)器放在周圍,是將其放置在關(guān)鍵的工藝的工作臺上,還是將其安裝在可以移動的小車上?
6.靈敏度:可檢測的尺寸的顆粒。
在塵埃粒子計數(shù)器校準工作中,應(yīng)首先將塵埃粒子計數(shù)器開機預(yù)熱十分鐘以上,然后再進行校準。而在實際校準工作中,有的校準人員為了趕時間,未進行預(yù)熱,直接進行塵埃粒子計數(shù)器自凈時間的檢測,因為儀器還未穩(wěn)定,往往造成自凈時間的測量結(jié)果不符合要求或測量結(jié)果處于技術(shù)要求的臨界點。
01 實驗室要求潔凈度10000級的凈化室或凈化區(qū),如果潔凈度達不到要求,會對測量結(jié)果有直接影響。因為塵埃粒子發(fā)生測量裝置在運轉(zhuǎn)過程中要吸入空氣,如果實驗室的潔凈度不夠,實驗室內(nèi)空氣中的塵埃粒子會對塵埃粒子發(fā)生測量裝置的過濾器造成污染。過濾器被污染后不能完全把吸入空氣中的塵埃粒子過濾干凈,使噴出的單分散粒子氣溶膠的粒子濃度不準確,從而對塵埃粒子計數(shù)器的測量結(jié)果造成很大的影響。
02 當要啟動塵埃粒子計數(shù)器進行測量時,需要檢查計數(shù)器的入口管是否被蓋住或堵塞。如果A,M管被蓋住或堵塞不要啟動計數(shù)器,否則會對計數(shù)器的氣泵造成損害。
03 還需要注意的是在配置單分散粒子稀釋液時需要將單分散粒子原液充分搖勻,向塵埃粒子發(fā)生測量裝置上的噴霧頭內(nèi)加入需要測量的單分散粒子稀釋液之前也要將其充分搖勻。因為溶液中的粒子會發(fā)生沉淀,如果不搖勻,溶液中的粒子不均勻,會直接影響測量結(jié)果。
04 對于靈敏度在0.1um的塵埃粒子計數(shù)器,如果沒有特別的防護,不能用于測量大于1000級的凈化室,很容易對其傳感器造成損傷。所以對于這種塵埃粒子計數(shù)器在測量自凈時間和采樣流量的時候,在潔凈度1000級或優(yōu)于1000級的凈化區(qū)域進行空氣測量,以防止對計數(shù)器本身造成傷害。每次測量完一種粒徑的單分散粒子稀釋液后,需要更換其他粒徑的單分散粒子稀釋液進行測量時都需要對塵埃粒子計數(shù)器進行自凈,以免殘留在塵埃粒子計數(shù)器管道中的粒子影響測量結(jié)果,造成測量結(jié)果不準確。
05 另外,要將塵埃粒子發(fā)生測量裝置上盛裝單分散粒子稀釋液的噴霧頭用滿足要求的純凈水充分清洗干凈,然后再加入其它需要測量的單分散粒子稀釋液?!∫悦鈬婌F頭中殘留的原單分散粒子稀釋液對新加入的粒子稀釋液造成污染,從而影響測量結(jié)果。
06 關(guān)于校準 塵埃粒子計數(shù)器是國家規(guī)定的計量器具, 需按計量檢定規(guī)程每年定期校準。因為塵埃粒子計數(shù)器在使用一段時間后,其光學(xué)系統(tǒng)及檢測系統(tǒng)都會發(fā)生變化,如光源老化、發(fā)光效率降低或聚焦錯位、透鏡被污染, 從而使整機的轉(zhuǎn)換靈敏度變化。
塵埃粒子計數(shù)器校準, 就是對儀器各方面進行調(diào)整, 以獲得工作狀態(tài)。
現(xiàn)階段常見的校準塵埃粒子計數(shù)器的方法是利用兩類不同的塵埃粒子計數(shù)器的比值進行控制,即將可測粒徑小于 0.2微米的儀器稱為A類儀器,其余的均為B類儀器。在進行校準的時候,需要將A類儀器作為一個標準,從而通過計算得到B類計數(shù)器的技術(shù)效率,但是這種方式有一個嚴重的弊端,即A類塵埃粒子計數(shù)器無法被校準,只能默認其為準確的。
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